[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201410104030.7 | 申请日: | 2014-03-20 |
公开(公告)号: | CN104079260B | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 菊岛正幸;田中雅子;小幡直久;海野幸浩 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,马建军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,可以在抑制大型化的同时,减少由加速度(振动)等的外力引起的振动特性的变化,发挥稳定的振动特性。振动元件(1)具有压电基板(2),该压电基板(2)包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)。并且,厚壁部(22)具有沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(213)设置的第2厚壁部(24)、以及沿着第1外缘(212)设置的第3厚壁部(25),在压电基板(2)的前端部设置有分别与X轴和Z’轴这两个轴交叉的倾斜外缘部(26)。 | ||
搜索关键词: | 振动 元件 振荡器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种振动元件,其特征在于,该振动元件具有:基板,其包含第1区域和第2区域,所述第1区域包含进行厚度剪切振动的振动区域,所述第2区域的厚度比所述第1区域的厚度厚;以及激励电极,其配置于所述振动区域的正面和背面,所述第1区域包含:一对第1外缘,其配置于所述厚度剪切振动的振动方向的一端和另一端;以及一对第2外缘,其配置于与所述振动方向交叉的方向的一端和另一端,所述第2区域包含:第1厚壁部,其沿着一个所述第1外缘配置,设置有固定于对象物的固定部;以及第2厚壁部,其沿着一个所述第2外缘配置且与所述第1厚壁部连接,并且,所述第2区域没有配置到另一个所述第2外缘侧,在所述基板的另一个所述第1外缘侧且另一个所述第2外缘侧配置有倾斜外缘部,该倾斜外缘部在俯视所述基板时相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向这两个方向倾斜。
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