[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：

基板，其包含第1区域和第2区域，所述第1区域包含进行厚度剪切振动的振动区域，所述第2区域的厚度比所述第1区域的厚度厚；以及

激励电极，其配置于所述振动区域的正面和背面，

所述第1区域包含：

一对第1外缘，其配置于所述厚度剪切振动的振动方向的一端和另一端；以及

一对第2外缘，其配置于与所述振动方向交叉的方向的一端和另一端，

所述第2区域包含：

第1厚壁部，其沿着一个所述第1外缘配置，设置有固定于对象物的固定部；以及

第2厚壁部，其沿着一个所述第2外缘配置且与所述第1厚壁部连接，

并且，所述第2区域没有配置到另一个所述第2外缘侧，

在所述基板的另一个所述第1外缘侧且另一个所述第2外缘侧配置有倾斜外缘部，该倾斜外缘部在俯视所述基板时相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向这两个方向倾斜。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，当设所述基板在所述振动方向上的长度为L，所述第1区域在所述振动方向上的长度为L1时，满足L1/L≤0.52的关系。

3.根据权利要求1所述的振动元件，其中，当设俯视所述基板时所述基板在与所述振动方向垂直的方向上的长度为W，所述第1区域在与所述振动方向垂直的方向上的长度为W1时，满足W1/W≥0.5的关系。

4.根据权利要求2所述的振动元件，其中，当设俯视所述基板时所述基板在与所述振动方向垂直的方向上的长度为W，所述第1区域在与所述振动方向垂直的方向上的长度为W1时，满足W1/W≥0.5的关系。

5.根据权利要求3或4所述的振动元件，其中，满足0.5≤W1/W≤0.8的关系。

6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其中，所述倾斜外缘部相对于所述振动方向的倾斜角为40°以上50°以下。

7.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述倾斜外缘部相对于所述振动方向的倾斜角为40°以上50°以下。

8.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其中，所述第2区域的厚度为50μm以上70μm以下。

9.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述第2区域的厚度为50μm以上70μm以下。

10.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其中，所述第2区域没有配置到另一个所述第1外缘侧。

11.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述第2区域没有配置到沿着另一个所述第1外缘的区域。

12.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其中，所述第2区域还包含第3厚壁部，该第3厚壁部沿着另一个所述第1外缘配置且与所述第2厚壁部连接。

13.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述第2区域还包含第3厚壁部，该第3厚壁部沿着另一个所述第1外缘配置且与所述第2厚壁部连接。

14.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其中，所述基板是如下的石英板：在石英的晶轴即作为电气轴的X轴、作为机械轴的Y轴和作为光学轴的Z轴中，将所述X轴作为旋转轴，将使所述Z轴以+Z侧朝所述Y轴的－Y方向旋转的方式倾斜后的轴作为Z’轴，将使所述Y轴以+Y侧朝所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜后的轴作为Y’轴，将包含所述X轴和所述Z’轴的面作为主面，将沿着所述Y’轴的方向作为厚度方向。

15.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述基板是如下的石英板：在石英的晶轴即作为电气轴的X轴、作为机械轴的Y轴和作为光学轴的Z轴中，将所述X轴作为旋转轴，将使所述Z轴以+Z侧朝所述Y轴的－Y方向旋转的方式倾斜后的轴作为Z’轴，将使所述Y轴以+Y侧朝所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜后的轴作为Y’轴，将包含所述X轴和所述Z’轴的面作为主面，将沿着所述Y’轴的方向作为厚度方向。

16.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的封装。