[发明专利]基板边缘光刻胶的去除装置

摘要

本发明涉及光刻胶去除设备技术领域，公开了一种基板边缘光刻胶的去除装置。所述基板边缘光刻胶的去除装置包括喷洗装置，喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，气体喷嘴和液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区，狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区，第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠。在本发明技术方案中，由于采用狭缝状气体喷嘴或狭缝状液体喷嘴，更易于气体或液体流畅喷出，不会导致光刻胶溶解剂溅射，避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。

主权项

一种基板边缘光刻胶的去除装置，包括喷洗装置，所述喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，所述气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，其特征在于，所述气体喷嘴和所述液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；所述狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区，所述狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区不相重叠。