[发明专利]基板边缘光刻胶的去除装置

权利要求书

1.一种基板边缘光刻胶的去除装置，包括喷洗装置，所述喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，所述气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，其特征在于，所述气体喷嘴和所述液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；所述狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区，所述狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区不相重叠。

2.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米，所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米。

3.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度大于所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度。

4.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区为条形，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区平行且所述第一狭缝区和所述第二狭缝区的间距为0.5～1.0毫米。

5.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴到基板的距离大于所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离。

6.如权利要求5所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴和所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离差为1～5毫米。

7.如权利要求1～6任一项所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴包括：具有气路的第一部件；以及第二部件，所述第二部件固定于所述第一部件的气路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口；

所述狭缝状液体喷嘴包括：具有液路的第三部件；以及第四部件，所述第四部件固定于所述第三部件的液路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口。

8.如权利要求7所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第三部件设置有位于液路出口的第一凹槽，所述第四部件对应所述第一凹槽设置有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽构成储液腔。

9.如权利要求7所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第一部件和所述第三部件为一体结构。

10.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，还包括固定所述喷洗装置的机架，所述机架可沿基板边缘往复运动。