[发明专利]用于确定掩模图案的方法及信息处理装置

摘要

一种用于确定掩模图案的方法、记录介质及信息处理装置。通过使用信息处理装置来确定多个掩模的图案的方法，包括：获取关于包含多个图案元素的图案的数据；将所获取的多个图案元素分配到掩模中，将所获取的多个图案元素分解为所述掩模的图案，并且基于掩模的数量、每个掩模中的多个图案元素之间的距离以及连接每个掩模中的多个图案元素的线的角度来计算用于评价指数的评价值。在所述方法中，基于所计算出的评价值来确定每个掩模的图案。

主权项

1.一种用于通过使用信息处理装置来确定用于多个掩模的图案的方法，所述方法包括：获取关于包含多个图案元素的图案的数据；以及将所获取的多个图案元素分配到掩模中，将所获取的多个图案元素分解为所述掩模的图案，并且基于掩模的数量、每个掩模中的多个图案元素之间的距离、以及连接每个掩模中的多个图案元素的线的角度来计算用于评价指标的评价值，其中评价指标具有由所述线的角度和表示适于照射每个掩模的有效光源分布的极性的预定角度之差定义的项，其中所述预定角度具有在掩模之间不同地设置的值，其中，基于所计算出的评价值来确定每个掩模的图案。