[发明专利]一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置有效
| 申请号： | 201410051467.9 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN103760221A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杭纬;李卫峰;林一明 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N27/68 | 分类号： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，属于固体样品中元素分析技术领域。包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体；高压电源的电极分别接针体和样品台，针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接，样品台设于腔体下部且与腔体密封连接，针体穿过针体支撑台伸入腔体，针体的针尖面对样品台表面，腔体内部为密封腔室，腔体设有工作气体的进出口，工作气体位于腔体的密封腔室内。可在从高真空到常压的气压范围内实现放电；可对固体样品表面直接进行剥蚀，所产生的粒子可传输到其它激发源等，所形成等离子体也可直接作为激发源或离子源使用。可在压力范围为1×10-6～1×106Pa用于固体表面剥蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 固体 表面 剥蚀 针尖 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体；高压电源的电极分别接针体和样品台，针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接，样品台设于腔体下部且与腔体密封连接，针体穿过针体支撑台伸入腔体，针体的针尖面对样品台表面，腔体内部为密封腔室，腔体设有工作气体的进口和出口，工作气体位于腔体的密封腔室内。
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