[发明专利]一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置

权利要求书

1.一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体；

高压电源的电极分别接针体和样品台，针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接，样品台设于腔体下部且与腔体密封连接，针体穿过针体支撑台伸入腔体，针体的针尖面对样品台表面，腔体内部为密封腔室，腔体设有工作气体的进口和出口，工作气体位于腔体的密封腔室内。

2.如权利要求1所述一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，所述高压电源为电流、电压分别可调的直流电源、脉冲电源或交流电源；所述直流电源的电压为0.5～50kV，电流为0.01～50A；所述交流电源的频率为1Hz～500MHz，电压为0.5～50kV，电流为0.01～50A；所述脉冲电源的脉冲源占空比调节值为0.1%～99.9%，脉冲电压为0.5～50kV，脉冲电流为0.01～50A。

3.如权利要求1所述一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，所述针体支撑台为固定台、三维移动台或旋转台。

4.如权利要求1所述一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，所述针体为金属、半导体或其它导电材料，针体为实心针体或空心针体，针体的尖端的直径为0.01～1000μm。

5.如权利要求1所述一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，所述工作气体为空气、氮气、氩气、氦气或氢气，工作气体压力为1×10^-6～1×10⁶Pa。