[发明专利]一种气体导轨高频响应型装置有效
| 申请号: | 201410049489.1 | 申请日: | 2014-02-13 |
| 公开(公告)号: | CN103862300A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
| 发明(设计)人: | 陈浩;厉以宇;瞿佳;李金明;闫书亚 | 申请(专利权)人: | 温州医科大学眼视光研究院;北京海普瑞森科技发展有限公司;温州新境界视光科技有限公司 |
| 主分类号: | B23Q1/38 | 分类号: | B23Q1/38;B23Q15/007;C01B33/04 |
| 代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人: | 黄肇平 |
| 地址: | 325000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 一种气体导轨高频响应型装置。解决了现有设备在加工高精度产品时效率低下且加工精度不够的问题。它包括气浮安装座、固定座和刀杆,所述的气浮安装座上设有气浮块,所述的气浮块上设有读数头支架,所述的读数头支架上设有与控制系统连接的读数头,所述的刀杆上设有光栅尺,所述的读数头与光栅尺相对应,所述的气浮安装座和气浮块上分别设有安装座通气孔和气浮块通气孔,所述的刀杆与气浮块上下限位配合且轴向滑移配合。本发明采用先进的气体静压轴承原理和控制系统相配合,能够实现高达纳米级的定位和重复定位加工,且加工效率高。而且本发明还具有结构简单、体积小、承载能力强等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 气体 导轨 高频 响应 装置 | ||
【主权项】:
一种气体导轨高频响应型装置,其特征在于:包括气浮安装座(1)、固定座(2)和刀杆(3),所述的固定座(2)内套设有音圈电机定子(21)和与控制系统连接的音圈电机动子(22),所述的刀杆(3)与音圈电机动子(22)联动连接,所述的气浮安装座(1)上设有气浮块(4),所述的气浮块(4)上设有读数头支架(41),所述的读数头支架(41)上设有与控制系统连接的读数头(42),所述的刀杆(3)上设有光栅尺(31),所述的读数头(42)与光栅尺(31)相对应,所述的气浮安装座(1)和气浮块(4)上分别设有供气体通入使气浮安装座(1)与刀杆(3)、气浮块(4)与刀杆(3)之间形成气浮垫的安装座通气孔(11)和气浮块通气孔(43),所述的刀杆(3)与气浮块(4)上下限位配合且轴向滑移配合。
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