[发明专利]一种气体导轨高频响应型装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种精密加工和制造行业,具体涉及一种气体导轨高频响应型装置。

背景技术

随着社会的进步，经济和科技飞速发展，加工精度和加工效率不断的被提高，传统方式在生产时精度与效率都有明显的不足，比如芯片内微型零件的放置，线路的铺设，焊接等；又比如在光学加工方面在高精度消色差、球差、慧差等镜片的加工上，需要能快速而有限的完成菲涅尔透镜，离轴抛物面，生物工程中的复眼镜片以及各种自由曲面的加工等，传统的生产加工往往存在很大的局限,如精度达不到或者加工效率低等。

发明内容

为解决背景技术中现有设备在加工高精度产品时效率低下且加工精度不够的问题，本发明提供一种气体导轨高频响应型装置。

本发明的技术方案是：一种气体导轨高频响应型装置，包括气浮安装座、固定座和刀杆，所述的固定座内套设有音圈电机定子和与控制系统连接的音圈电机动子，所述的刀杆与音圈电机动子联动连接，所述的气浮安装座上设有气浮块，所述的气浮块上设有读数头支架，所述的读数头支架上设有与控制系统连接的读数头，所述的刀杆上设有光栅尺，所述的读数头与光栅尺相对应，所述的气浮安装座和气浮块上分别设有供气体通入使气浮安装座与刀杆、气浮块与刀杆之间形成气浮垫的安装座通气孔和气浮块通气孔，所述的刀杆与气浮块上下限位配合且轴向滑移配合。

作为本发明的一种改进，所述的气浮块上设有气浮块容置槽，所述的气浮块容置槽与气浮块通气孔相连通。

作为本发明的进一步改进，所述的刀杆将气浮块分为左气浮块和右气浮块，所述的左气浮块和右气浮块关于刀杆对称分布。

作为本发明的进一步改进，所述的刀杆的横截面为梯形结构。

作为本发明的进一步改进，所述的刀杆采用高刚性低密度材料制成。

作为本发明的进一步改进，所述的气浮安装座上设有安装座容置槽，所述的安装座容置槽与安装座通气孔相连通。

作为本发明的进一步改进，所述的光栅尺通过固定胶固定在刀杆上。

作为本发明的进一步改进，所述的气浮安装座的底部设有调高垫片。

作为本发明的进一步改进，所述的气浮安装座上设有用于调整气浮块安装位置的调整块压板。

作为本发明的进一步改进，所述的调整块压板的两端折出边沿，所述的边沿与气浮块相抵。

本发明的有益效果是，采用先进的气体静压轴承原理和控制系统相配合，使得刀杆执行运动的时候不因为克服摩擦力而产生弹性形变影响到精度的传递，同时也能够保证运动无滞后现象，能够实现高达纳米级的定位和重复定位加工，而对于同样的产品精度下就加工效率而言，有着翻几番的提升。而且本发明还具有结构简单、体积小、承载能力强等优点。

附图说明

附图1为本发明实施例的结构示意图。

附图2为本发明实施例另一方向上的结构示意图。

附图3为本附图1中气浮安装座1的结构示意图。

附图4为本附图1中气浮块的结构示意图。

图中，1、气浮安装座；11、安装座通气孔；12、安装座容置槽；2、固定座；21、音圈电机定子；22、音圈电机动子；3、刀杆；31、光栅尺；4、气浮块；41、读数头支架；42、读数头；43、气浮块通气孔；44、气浮块容置槽；45、左气浮块；46、右气浮块；5、调高垫片；6、调整块压板；61、边沿；62、安装孔；7、转接盘。

具体实施方式

下面结合附图对本发明实施例作进一步说明：