[发明专利]一种气体导轨高频响应型装置

权利要求书

1.一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于:包括气浮安装座（1）、固定座（2）和刀杆（3），所述的固定座（2）内套设有音圈电机定子（21）和与控制系统连接的音圈电机动子（22），所述的刀杆（3）与音圈电机动子（22）联动连接，所述的气浮安装座（1）上设有气浮块（4），所述的气浮块（4）上设有读数头支架（41），所述的读数头支架（41）上设有与控制系统连接的读数头（42），所述的刀杆（3）上设有光栅尺（31），所述的读数头（42）与光栅尺（31）相对应，所述的气浮安装座（1）和气浮块（4）上分别设有供气体通入使气浮安装座（1）与刀杆（3）、气浮块（4）与刀杆（3）之间形成气浮垫的安装座通气孔（11）和气浮块通气孔（43），所述的刀杆（3）与气浮块（4）上下限位配合且轴向滑移配合。

2.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的气浮块（4）上设有气浮块容置槽（44），所述的气浮块容置槽（44）与气浮块通气孔（43）相连通。

3.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的刀杆（3）将气浮块（4）分为左气浮块（45）和右气浮块（46），所述的左气浮块（4）和右气浮块（46）关于刀杆（3）对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的刀杆（3）的横截面为梯形结构。

5.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的刀杆（3）采用高刚性低密度材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的气浮安装座（1）上设有安装座容置槽（12），所述的安装座容置槽（12）与安装座通气孔（11）相连通。

7.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的光栅尺（31）通过固定胶固定在刀杆（3）上。

8.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的气浮安装座（1）的底部设有调高垫片（5）。

9.根据权利要求1所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的气浮安装座（1）上设有用于调整气浮块（4）安装位置的调整块压板（6）。

10.根据权利要求9所述的一种气体导轨高频响应型装置，其特征在于所述的调整块压板（6）的两端折出边沿（61），所述的边沿（61）与气浮块（4）相抵。