[发明专利]一种金属碳化物镀层的制备方法有效
| 申请号： | 201410047789.6 | 申请日： | 2014-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN103820761A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 赵树辉 | 申请（专利权）人： | 西安金唐材料应用科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属碳化物镀层的制备方法，该方法采用多靶磁控溅射设备，以纯金属（钛、铬等）和石墨为靶材，经过抽真空、通氩气、镀膜等工序制成，本发明提出的金属碳化物镀层的制备方法具有工艺简捷稳定，镀层成分控制精确，工序少、易实现工业化生产的特点。所制备的金属碳化物镀层具有高硬度和低摩擦系数等性能，适合于对高速运转工具，精密工具、模具等表面进行沉积，可赋予工件优良的性能，延长产品的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 碳化物 镀层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属碳化物镀层的制备方法，其特征在于：具体包括下列步骤：步骤1、将试样清洗干燥后放入多靶磁控溅射设备的真空室中，并将真空室抽真空到：（3‑5）×10‑5 Pa；步骤2、通入氩气，流量为15‑22 sccm，同时开启纯金属靶和石墨靶，金属靶电流为1‑3 A，石墨靶电流为3‑5 A；时间为0.5～2.0 h；镀膜完成后，充气，取出试样。
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