[发明专利]一种热处理透明导电薄膜材料的方法有效
| 申请号： | 201410035263.6 | 申请日： | 2014-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN103824648B | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;訾威;肖锋伟 | 申请（专利权）人： | 陕西师范大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热处理透明导电薄膜材料的方法：首先，在柔性衬底上沉积透明导电薄膜，然后在透明导电薄膜的两个位置加上电压，通入电流，使透明导电材料温度上升，达到热处理效果，提高透明导电材料的透过率及电学性能。这种热处理的方式可以提高材料的导电性能与透过率，降低材料的损耗，提高生产效率；另一方面可明显降低热处理过程对基底材料的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热处理 透明 导电 薄膜 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，首先，在柔性衬底上沉积透明导电薄膜，然后在透明导电薄膜的两个位置加上电压，通入电流，使透明导电材料温度上升，达到热处理效果，提高透明导电材料的透过率及电学性能；在柔性衬底上沉积透明导电薄膜是采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或者喷涂的方式；在对透明导电薄膜进行热处理时，加直流或交流电压；通过PID控制系统实时地改变通入电流的大小，维持透明导电薄膜表面的温度不变，达到热处理所需要的温度。
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