[发明专利]一种热处理透明导电薄膜材料的方法

权利要求书

1.一种热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，首先，在柔性衬底上沉积透明导电薄膜，然后在透明导电薄膜的两个位置加上电压，通入电流，使透明导电材料温度上升，达到热处理效果，提高透明导电材料的透过率及电学性能。

2.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，在柔性衬底上沉积透明导电薄膜是采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或者喷涂的方式。

3.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，在对透明导电薄膜进行热处理时，加直流或交流电压。

4.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，所述柔性衬底是高分子材料。

5.根据权利要求4所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，所述柔性衬底是PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或有机物材料。

6.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，透明导电薄膜是掺杂的氧化铟、掺杂的氧化锡和掺杂的氧化锌中的一种或多种的混合物、合金、或叠层薄膜。

7.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，透明导电薄膜厚度在10纳米到3微米之间。

8.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法，其特征在于，通过PID控制系统实时地改变通入电流的大小，维持透明导电薄膜表面的温度不变，达到热处理所需要的温度。