[发明专利]分流道气体流量控制在审
| 申请号： | 201410025352.2 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN103995071A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 官晓胜;褚渊;徐强 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/28 | 分类号： | G01N30/28 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 鲁异 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及分流道气体流量控制。一种设备包括比例阀、连接到该比例阀的第一流道、连接到该第一流道并且构造成测量该第一流道中的气体流量的流量传感器、在该比例阀和该流量传感器之间的位置连接到该第一流道的分流道、以及连接在该流量传感器和该比例阀之间并且构造成控制该第一流道中的气体流量的控制组件。 | ||
| 搜索关键词： | 分流 气体 流量 控制 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：比例阀；连接到所述比例阀的第一流道；连接到所述第一流道并且构造成测量所述第一流道中的气体流量的流量传感器；在所述比例阀和所述流量传感器之间的位置连接到所述第一流道的分流道；以及连接在所述流量传感器和所述比例阀之间并且构造成控制所述第一流道中的气体流量的控制组件。
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