[发明专利]分流道气体流量控制在审
| 申请号： | 201410025352.2 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN103995071A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 官晓胜;褚渊;徐强 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/28 | 分类号： | G01N30/28 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 鲁异 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分流 气体 流量 控制 | ||
1.一种设备，包括：
比例阀；
连接到所述比例阀的第一流道；
连接到所述第一流道并且构造成测量所述第一流道中的气体流量的流量传感器；
在所述比例阀和所述流量传感器之间的位置连接到所述第一流道的分流道；以及
连接在所述流量传感器和所述比例阀之间并且构造成控制所述第一流道中的气体流量的控制组件。
2.根据权利要求1所述的设备，还包括在所述比例阀和所述流量传感器之间的位置连接到所述第一流道的至少一个附加分流道。
3.根据权利要求1所述的设备，还包括连接到所述分流道并且构造成控制所述分流道中的气体流量的附加控制组件。
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件独立于连接在所述流量传感器和所述比例阀之间的所述控制组件进行操作。
5.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件包括固定限流器。
6.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件包括针形阀。
7.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件包括电子压力控制器（EPC）。
8.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件包括质量流量控制器（MFC）。
9.根据权利要求8所述的设备，其中，所述MFC包括至少一个附加分流道。
10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述分流道排放到环境大气中。
11.根据权利要求1所述的设备，其中，所述分流道连接到气相色谱仪。
12.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制组件实施反馈回路控制策略，该策略选自由比例控制策略、比例-微分控制策略、比例-积分控制策略、或比例-积分-微分控制策略组成的组。
13.根据权利要求1所述的设备，其中，所述流量传感器是质量流量传感器，并且所述控制组件构造成控制所述第一流道中的质量流量。
14.根据权利要求3所述的设备，其中，所述附加控制组件至少部分与所述控制组件集成在一起。
15.包括权利要求1所述的设备的气相色谱仪。
16.一种方法，包括以下步骤：
将气体通过比例阀提供给第一流道和分流道，其中，所述分流道在所述比例阀下游的第一位置连接到所述第一流道；
在所述第一位置下游的第二位置监测所述第一流道中的气体流量；以及
基于所述监测的流量控制所述比例阀来调节所述第一流道中的气体流量。
17.根据权利要求16所述的方法，还包括控制所述分流道中气体流量的步骤。
18.根据权利要求16所述的方法，其中，监测所述第一流道的所述气体流量的步骤包括操作质量流量传感器。
19.根据权利要求16所述的方法，其中，由第一控制组件控制所述第一流道中的气体流量，并且由独立于所述第一控制组件操作的第二控制组件控制所述分流道中的气体流量。
20.根据权利要求17所述的方法，其中，由固定限流器、针形阀、电子压力控制器、或质量流量控制器控制所述分流道中的所述气体流量。
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