[发明专利]一种高传送效率的传送机构及晶圆传片设备

摘要

本发明公开了一种高传送效率的传送机构及晶圆传片设备，涉及半导体技术领域，本发明通过增加转向轮，使得传送带的第一部分设有内凹部，在传送机构工作时，所述晶圆匣盒上H面的横梁能被置于所述内凹部中，增加了传送带的第一部分与晶圆之间的接触区域面积，从而提高了晶圆取片的传片效率和安全性，并降低了碎片率。

主权项

一种高传送效率的传送机构，其特征在于，所述传送机构包括：传送带和2个传送轮，所述传送带绕设于所述2个传送轮上，所述传送带包括第一部分、第二部分和用于连接第一部分和第二部分的侧向部分，所述第一部分用于与待传送物接触，所述传送机构还包括：n个转向轮，所述n个转向轮中包括：2个第一转向轮、x个第二转向轮和n‑2‑x个第三转向轮，所述第一部分设有内凹部，所述2个第一转向轮分别设于所述内凹部的两端下表面，所述x个第二转向轮设于所述内凹部的底部上表面，所述n‑2‑x个第三转向轮位于所述第二转向轮的下方，且设于所述第二部分的上表面，所述n为不小于4的整数，所述x为不小于1的整数，n‑x≥3。