[发明专利]一种高传送效率的传送机构及晶圆传片设备

权利要求书

1.一种高传送效率的传送机构，其特征在于，所述传送机构包括：传送带和2个传送轮，所述传送带绕设于所述2个传送轮上，所述传送带包括第一部分、第二部分和用于连接第一部分和第二部分的侧向部分，所述第一部分用于与待传送物接触，所述传送机构还包括：n个转向轮，所述n个转向轮中包括：2个第一转向轮、x个第二转向轮和n-2-x个第三转向轮，所述第一部分设有内凹部，所述2个第一转向轮分别设于所述内凹部的两端下表面，所述x个第二转向轮设于所述内凹部的底部上表面，所述n-2-x个第三转向轮位于所述第二转向轮的下方，且设于所述第二部分的上表面，所述n为不小于4的整数，所述x为不小于1的整数，n-x≥3。

2.如权利要求1所述的传送机构，其特征在于，所述传送带为履带，所述传送轮和转向轮均为齿轮，所述齿轮与所述履带上的啮合齿相适应。

3.如权利要求2所述的传送机构，其特征在于，所述传送轮或转向轮中的至少一个齿轮为传动齿轮。

4.如权利要求1所述的传送机构，其特征在于，所述第二转向轮为1个时，所述内凹部为“V”形。

5.如权利要求1所述的传送机构，其特征在于，所述第二转向轮为2个时，所述内凹部为“U”形。

6.一种晶圆传片设备，其特征在于，所述设备包括：晶圆匣盒和至少2个权利要求1～5中任一项所述的传送机构，所述至少2个传送机构呈平行设置，所述晶圆匣盒上H面的横梁位于所述传送机构的内凹部中，所述晶圆匣盒能沿所述传送机构上内凹部的内凹方向往返移动。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传送机构上第二转向轮为1个时，T≥T₀，所述T为所述内凹部的两侧距离为W₀所处平面到所述内凹部两端所处平面的距离，所述W₀为所述横梁的宽度，所述T₀为所述横梁到第一卡槽的下表面之间的距离，所述第一卡槽为所述晶圆匣盒上沿从上到下方向的第一个卡槽。

8.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传送机构上第二转向轮为2个时，W≥W₀且T≥T₀，所述W为所述内凹部两端的距离，所述W₀为所述横梁的宽度，所述T为所述内凹部的深度，所述T₀为所述横梁到第一卡槽的下表面之间的距离，所述第一卡槽为所述晶圆匣盒上沿从上到下方向的第一个卡槽。

9.如权利要求6～8中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：第一支撑架，所述第一支撑架用于固定所述至少2个传送机构。

10.如权利要求6～8中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：位置传感器和用于固定所述位置传感器的第二支撑架，所述位置传感器沿所述传送机构上内凹部的内凹方向设置，且所述位置传感器朝向所述晶圆匣盒。