[发明专利]用于在基板上丝网印刷的装置有效

专利信息
申请号: 201410010084.7 申请日: 2014-01-09
公开(公告)号: CN104669774B 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: T·瓦塞斯;M·索恩戈 申请(专利权)人: 应用材料意大利有限公司
主分类号: B41F15/08 分类号: B41F15/08;B41F15/14;B41F33/16;H01L31/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 意大利*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要: 发明公开一种用于在基板(200)上丝网印刷的装置(100,200)。用于在基板(120)上丝网印刷的装置(100,200)包括:基板支撑件(110),被配置以支撑基板(120);印刷刮刀(142);丝网装置(130),提供在基板支撑件(110)和印刷刮刀(142)之间,其中所述印刷刮刀(142)在沿着丝网装置(130)的至少一个方向可动以便印刷;和控制装置,被配置以在印刷期间根据预定图案控制印刷刮刀(142)的一个或多个印刷参数。
搜索关键词: 用于 基板上 丝网 印刷 装置
【主权项】:
1.一种用于在基板(120)上丝网印刷以便生产太阳能电池的装置(100,200),包含:‑基板支撑件(110),被配置以支撑所述基板(120);‑印刷刮刀(142);‑丝网装置(130),在所述基板支撑件(110)和印刷刮刀(142)之间提供,其中所述印刷刮刀(142)在沿着所述丝网装置(130)的至少一个方向可动以便印刷;‑控制装置,被配置以在印刷期间控制所述印刷刮刀(142)的一个或多个印刷参数,其中所述一个或多个印刷参数的至少一个参数在印刷期间根据预定图案修正,所述预定图案存储在所述装置的存储器中;以及‑回收装置,所述回收装置在沿着所述丝网装置(130)的至少一个方向可动以便回收过量印刷材料,其中所述控制装置被进一步配置以在操作期间控制所述回收装置的一个或多个回收参数,其中所述一个或多个回收参数的至少一个参数在操作期间根据另一预定图案修正。
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