[发明专利]用于在基板上丝网印刷的装置有效

专利信息
申请号: 201410010084.7 申请日: 2014-01-09
公开(公告)号: CN104669774B 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: T·瓦塞斯;M·索恩戈 申请(专利权)人: 应用材料意大利有限公司
主分类号: B41F15/08 分类号: B41F15/08;B41F15/14;B41F33/16;H01L31/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 意大利*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要:
搜索关键词: 用于 基板上 丝网 印刷 装置
【权利要求书】:

1.一种用于在基板(120)上丝网印刷以便生产太阳能电池的装置(100,200),包含:

-基板支撑件(110),被配置以支撑所述基板(120);

-印刷刮刀(142);

-丝网装置(130),在所述基板支撑件(110)和印刷刮刀(142)之间提供,

其中所述印刷刮刀(142)在沿着所述丝网装置(130)的至少一个方向可动以便印刷;

-控制装置,被配置以在印刷期间控制所述印刷刮刀(142)的一个或多个印刷参数,其中所述一个或多个印刷参数的至少一个参数在印刷期间根据预定图案修正,所述预定图案存储在所述装置的存储器中;以及

-回收装置,所述回收装置在沿着所述丝网装置(130)的至少一个方向可动以便回收过量印刷材料,其中所述控制装置被进一步配置以在操作期间控制所述回收装置的一个或多个回收参数,其中所述一个或多个回收参数的至少一个参数在操作期间根据另一预定图案修正。

2.如权利要求1所述的装置(100),其特征在于,所述一个或多个印刷参数包括以下参数的至少一个:

-所述印刷刮刀(142)相对于所述丝网装置(130)的角度(147,148);

-所述印刷刮刀(142)相对于所述丝网装置(130)的移动速度;和

-所述印刷刮刀(142)作用在所述丝网装置(130)上的压力。

3.如权利要求1或2所述的装置(100),其特征在于,所述预定图案包括以下图案中的至少一个:

-基于印刷时间的印刷参数顺序;和

-基于所述印刷刮刀(142)相对于所述丝网装置(130)的位置的印刷参数顺序。

4.如权利要求1或2所述的装置(100),进一步包括一个或多个压力传感器(111,112,113),所述一个或多个压力传感器(111,112,113)被配置以检测所述印刷刮刀(142)作用在所述丝网装置(130)上的压力。

5.如权利要求1或2所述的装置(100),进一步包括平移装置(141),所述平移装置(141)被配置以用于在相对于所述丝网装置(130)的所述至少一个方向移动所述印刷刮刀(142)。

6.如权利要求5所述的装置(100),其特征在于,所述印刷刮刀(142)被附接于所述平移装置(141)。

7.如权利要求4所述的装置(100),其特征在于,所述一个或多个压力传感器(111,112)在所述基板支撑件(110)处提供。

8.如权利要求4所述的装置(100),其特征在于,所述一个或多个压力传感器的至少一个传感器在所述丝网装置(130)处提供。

9.如权利要求4所述的装置(100),其特征在于,进一步包括平移装置(141),所述平移装置(141)被配置以用于在相对于所述丝网装置(130)的所述至少一个方向移动所述印刷刮刀(142),所述一个或多个压力传感器(113)的至少一个传感器在所述平移装置(141)处提供。

10.如权利要求5所述的装置(100),其特征在于,所述平移装置(141)被配置以基于所述控制装置的控制调整所述一个或多个印刷参数的至少一个参数。

11.如权利要求1或2所述的装置(100),其特征在于,所述控制装置被配置以基于所述印刷刮刀(142)相对于所述丝网装置(130)的位置调整至少一个所述印刷参数。

12.如权利要求1所述的装置(100),其特征在于,所述一个或多个印刷参数包括所述印刷刮刀(142)作用在所述丝网装置(130)上的压力,所述控制装置被配置以通过控制所述印刷刮刀(142)相对于所述丝网装置(130)的距离,来调整所述印刷刮刀(142)作用在所述丝网装置(130)上的所述压力。

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