[发明专利]用于在基板上丝网印刷的装置有效
申请号: | 201410010084.7 | 申请日: | 2014-01-09 |
公开(公告)号: | CN104669774B | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | T·瓦塞斯;M·索恩戈 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | B41F15/08 | 分类号: | B41F15/08;B41F15/14;B41F33/16;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 基板上 丝网 印刷 装置 | ||
本发明公开一种用于在基板(200)上丝网印刷的装置(100,200)。用于在基板(120)上丝网印刷的装置(100,200)包括:基板支撑件(110),被配置以支撑基板(120);印刷刮刀(142);丝网装置(130),提供在基板支撑件(110)和印刷刮刀(142)之间,其中所述印刷刮刀(142)在沿着丝网装置(130)的至少一个方向可动以便印刷;和控制装置,被配置以在印刷期间根据预定图案控制印刷刮刀(142)的一个或多个印刷参数。
技术领域
本案实施例涉及用于在基板上丝网印刷的装置;特别地涉及太阳能电池生产、太阳能电池生产装置,和用于在基板上丝网印刷的方法。本案实施例具体而言涉及用于丝网印刷的装置、太阳能电池生产装置和用于在用以形成光生伏打(photovoltaic;PV)电池的基板上丝网印刷的方法。
背景技术
太阳能电池是将太阳光直接转换成为电力的PV装置。在此领域之内,已知通过丝网印刷技术在结晶硅基底上生产太阳能电池,在太阳能电池的前表面上获得选择性发射器的结构。在生产光生伏打电池领域中的一些缺点是有关于由传统丝网印刷装置的缺点引起的印刷结构的不均匀几何形状。印刷结构的这种不均匀几何形状影响所述印刷结构的电气特性。因为电气特性对于太阳能电池的性能和可靠性非常关键,所以需要提供允许印刷均匀结构的丝网印刷装置。
鉴于上文,本发明的目的是提供一种克服本技术领域中的至少一些问题的用于在基板上丝网印刷的装置,具体而言用于在用以形成光生伏打(PV)电池的基板上丝网印刷的装置。
发明内容
鉴于上文,本发明提供了一种用于在基板上丝网印刷的装置、太阳能电池生产装置,和用于在基板上丝网印刷的方法。本发明的进一步方面、优点和特征从附属权利要求、描述和附图中显而易见。
根据一个实施例,用于在基板上丝网印刷的装置包括:基板支撑件,被配置以支撑基板;印刷刮刀;丝网装置,所述丝网装置提供在基板支撑件和印刷刮刀之间,其中印刷刮刀在沿着丝网装置的至少一个方向可动以便印刷;和控制装置,所述控制装置被配置以在印刷期间控制印刷刮刀的一个或多个印刷参数,其中一个或多个印刷参数的至少一个参数在印刷期间根据预定图案修正。
根据另一实施例,用于在基板上丝网印刷的装置包括:基板支撑件,被配置以支撑基板;回收装置,在沿着基板的至少一个方向可动以便回收过量印刷材料;和控制装置,被配置以在操作期间,具体而言在回收操作或印刷期间,控制回收装置的一个或多个回收参数,其中一个或多个回收参数的至少一个参数在操作期间根据预定图案修正。
根据一个实施例,用于在基板上丝网印刷的装置包括:基板支撑件,被配置以支撑基板;印刷刮刀;丝网装置,所述丝网装置提供在基板支撑件和印刷刮刀之间,其中印刷刮刀在沿着丝网装置的至少一个方向可动以便印刷;和控制装置,所述控制装置被配置以在印刷期间根据预定图案调整印刷刮刀相对于丝网装置的角度。
根据一个实施例,提供一种包括一个或多个印刷站的太阳能电池生产装置,所述一个或多个印刷站的至少一个具有用于丝网印刷的上述装置。
根据一个实施例,提供一种用于在基板上丝网印刷的方法。所述方法包括:通过印刷刮刀接触丝网;相对于丝网移动印刷刮刀以便印刷;和在印刷期间控制印刷刮刀的一个或多个印刷参数,其中一个或多个印刷参数的至少一个参数根据预定图案修正。
术语“预定图案”可具体而言代表在印刷工艺之前定义的控制图案。特别地,印刷工艺可能对预定图案不具有影响。
根据一个实施例,提供一种用于在基板上丝网印刷的方法。所述方法包括:通过印刷刮刀接触丝网;相对于丝网移动印刷刮刀以便印刷;和在印刷期间调整印刷刮刀相对于丝网装置的角度。
附图说明
因此,以可详细地理解本案的上述特征的方式,可参考实施例获得上文简要概述的本案的更特定描述。附图涉及本发明实施例且附图描述在下文中:
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