[发明专利]蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法

摘要

本发明公开蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法。本发明的蒸发源移送单元包括下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，线形的第一轨道垂直于从一个中心点横穿蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向，线形的第二轨道垂直于从中心点横穿蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向相垂直，曲线的第三轨道连接第一轨道和第二轨道；上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，线形的第四轨道与第一轨道相隔开来形成平行，线形的第五轨道与第二轨道相隔开来形成平行，曲线的第六轨道连接第四轨道和第五轨道；移送部，线形的蒸发源以相对于下侧轨道和上侧轨道形成垂直的方式结合，移送部沿着下侧轨道和上侧轨道进行往复移动。

主权项

一种蒸发源移送单元，配置于蒸镀腔室的内部，用于移送线形的蒸发源，上述蒸发源移送单元的特征在于，包括：下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道垂直于从一个中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向，上述第二轨道垂直于从上述中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道；上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动，上述移送部包括：一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，上述第一滑动部包括：移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，上述第二滑动部包括：移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及滑动杆，以相对于上述旋转块进行滑动的方式与上述旋转块相结合。