[发明专利]蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸发源移送单元，配置于蒸镀腔室的内部，用于移送线形的蒸发源，上述蒸发源移送单元的特征在于，包括：

下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道垂直于从一个中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向，上述第二轨道垂直于从上述中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道；

上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及

移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动，

上述移送部包括：

一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及

一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，

上述第一滑动部包括：

移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及

旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，

上述第二滑动部包括：

移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；

旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及

滑动杆，以相对于上述旋转块进行滑动的方式与上述旋转块相结合。

2.根据权利要求1所述的蒸发源移送单元，其特征在于，

还包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑，

上述蒸发源与上述源支架相结合。

3.根据权利要求2所述的蒸发源移送单元，其特征在于，还包括：

齿轨，分别向上述下侧轨道及上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道及上述下侧轨道配置；

小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及

马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。

4.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀腔室，被划分为第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，第一基板在一个中心点沿着第一放射方向在上述第一蒸镀区域进行引出引入，第二基板在上述中心点沿着第二放射方向在上述第二蒸镀区域进行引出引入；

第一基板装载部，向上述第一放射方向装载并放置上述第一基板；

第二基板装载部，向上述第二放射方向装载并放置上述第二基板；

蒸发源，与上述第一基板或上述第二基板相向，并喷射蒸发物质；以及

蒸发源移送单元，用于移送上述蒸发源，

上述蒸发源移送单元包括：

下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道与上述第一放射方向形成垂直，上述第二轨道与上述第二放射方向形成垂直，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道；

上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及

移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动，

上述移送部包括：

一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及

一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，

上述第一滑动部包括：

移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及

旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，

上述第二滑动部包括：

移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；

旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及

滑动杆，以相对于上述第一放射方向向垂直方向滑动的方式与上述旋转块相结合。