[发明专利]蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法。更详细地，涉及一种有机物蒸镀装置及利用其的蒸镀方法，上述有机物蒸镀装置能够在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，而在一个基板的蒸镀工序过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的有机物材料的损失。

背景技术

有机发光器件(Organic Luminescence Emitting Device：OLED)作为利用只要在荧光性有机化合物中通电就会发光的电致发光现象的自我发光的自发光器件，由于不需要用于向非发光器件照射光的背光，因而能够制作轻量且薄型的平板显示装置。

这种利用有机发光器件的平板显示装置因反应速度快、观察角度广而正成为新一代显示装置。

尤其，因制作工序简单而具有能够比以往的液晶显示装置更能节约生产成本的优点。

在有机电致发光器件中，作为除阳电极及阴电极的剩余构成层的空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层及电子注入层等由有机薄膜形成，这种有机薄膜通过真空热蒸镀方法来蒸镀于基板上。

真空热蒸镀方法通过如下方式实现：向真空的腔室内移送基板，并在所移送的基板排列形成有规定图案的荫罩(shadow mask)后，向装有有机物的坩埚施加热量，并在基板上蒸镀在坩埚中得到升华的有机物。

现有技术的真空热蒸镀方法存在如下问题：由于在一个腔室内对一个基板实施蒸镀工序，因此，在基板的移送工序和荫罩的对齐工序中，因中断针对基板的蒸镀工序而增加节拍时间(tack time)。

并且，在基板的移送工序和荫罩的对齐工序中，也因为有机物在坩埚中持续升华而存在有机物材料受损的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题

本发明提供能够在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，而在一个基板的蒸镀工序过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的有机物材料的损失的蒸发源移送单元、蒸镀装置及利用其的蒸镀方法。

技术方案

根据本发明的一实施方式，本发明提供如下的蒸发源移送单元：上述蒸发源移送单元配置于蒸镀腔室的内部，用于移送线形的蒸发源，上述蒸发源移送单元包括：下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道垂直于从一个中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向，上述第二轨道垂直于从上述中心点横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道；上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动。

上述移送部可以包括：一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，上述第一滑动部可以包括：移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，上述第二滑动部可以包括：移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及滑动杆，以相对于上述旋转块进行滑动的方式与上述旋转块相结合。

本发明还可以包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑，上述蒸发源能够与上述源支架相结合。

本发明还可以包括：齿轨，分别向上述下侧轨道及上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道及上述下侧轨道配置；小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。