[发明专利]玻璃基板的清洗方法在审
申请号: | 201380063534.2 | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN104853853A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 青野信幸;长沼纯;宫本定治 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;C11D7/04;C11D7/32;C11D17/08;G02F1/13;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种抑制在碱清洗中的玻璃基板表面粗糙度变差、可进一步提高清洗性的玻璃基板的清洗方法。在一种或数种实施方式中,本发明的玻璃基板的清洗方法包括使被清洗玻璃基板与清洗剂组合物接触,所述清洗剂组合物含有包含1个以上且10个以下氮原子的胺以及无机碱,相对于所述清洗剂组合物的水以外的成分的总质量,所述胺的含量为5.00质量%以上且70.00质量%以下,所述被清洗玻璃基板为结晶化玻璃基板,清洗时的清洗剂组合物的pH值为9.00以上且11.50以下。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃硬盘基板的制造方法,其包括以下工序(1)及(2):(1)使用研磨液组合物对被研磨玻璃基板进行研磨的工序,以及(2)使用清洗剂组合物对工序(1)中获得的基板进行清洗的工序,其中,所述清洗剂组合物含有包含1个以上且10个以下氮原子的胺以及无机碱,相对于所述清洗剂组合物的水以外的成分的总质量,所述胺的含量为5.00质量%以上且70.00质量%以下,所述被研磨玻璃基板为结晶化玻璃基板,清洗时的清洗剂组合物的pH值为9.00以上且11.50以下。
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