[发明专利]包括无机套环的导电互连有效
| 申请号： | 201380057472.4 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104769711B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | Y·孙;L·赵;M·韩 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李小芳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种导电互连(340、440、540、640)包括导电支承层(330、430、530、630)，在该导电支承层(330、430、530、630)上的导电材料(320、520、620)，以及部分地包围该导电材料(320、520、620)的无机套环(350、450、550、650)。无机套环(350、450、550、650)也被布置在导电支承层(330、430、530、630)的侧壁上。一种制造导电互连(340、440、540、640)的方法包括在籽晶层(304、504)上制造导电材料(320、520、620)，形成有机套环(310、510)以部分地包围该导电材料(320、520、620)，蚀刻导电籽晶层(304、504)以形成导电支承层(330、430、530、630)，以及进行加热以将有机套环(310、510)转变为无机套环(350、450、550、650)，该无机套环(350、450、550、650)部分地包围导电材料(320、520、620)并布置在导电支承层(330、430、530、630)的侧壁上。有机套环(310、510)可通过在导电材料(320、520、620)上沉积光敏旋涂电介质材料并图案化该光敏旋涂电介质材料来形成。导电材料(620)可以是单个导电材料(320)或者可包括由势垒层分隔的第一导电层(332)和第二导电层(324)的堆叠，在这种情况下加热步骤还导致导电材料堆叠中的第二导电层(324)的回流。 | ||
| 搜索关键词： | 导电材料 套环 导电支承层 导电互连 第二导电层 电介质材料 包围 侧壁 堆叠 光敏 旋涂 导电籽晶层 第一导电层 蚀刻 加热步骤 势垒层 图案化 籽晶层 沉积 分隔 加热 制造 | ||
【主权项】：
1.一种导电互连，包括：半导体基板上的导电支承层；所述导电支承层上的导电材料；以及无机套环，所述无机套环部分地包围所述导电材料，被布置在所述导电支承层的侧壁上，并且直接与所述半导体基板接触，其中所述无机套环被配置成在蚀刻导电籽晶层以形成所述导电支承层期间保护所述导电支承层和所述导电材料免受过度蚀刻，其中所述无机套环由被配置成响应于热处理而变成无机的一种类型的光敏旋涂介电材料制成。
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