[发明专利]电容量型传感器片、电容量型传感器片的制造方法及传感器有效
申请号: | 201380050906.8 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104685316B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 大高秀夫;加藤秀之;则定英树;永濑贵行 | 申请(专利权)人: | 阪东化学株式会社 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01L1/14;G01L5/00 |
代理公司: | 北京瑞盟知识产权代理有限公司11300 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 日本国兵库县神户*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明是一种电容量型传感器片,用于测量伸缩变形形变量和/或伸缩变形形变分布,包括弹性体制的电介质层;层叠于所述电介质层的表面的表面侧电极层;以及层叠于所述电介质层的背面上的背面侧电极层。所述表面侧电极层及所述背面侧电极层包含碳纳米管,所述表面侧电极层及所述背面侧电极层的平均厚度分别为0.1μm以上10μm以下。所述表面侧电极层及所述背面侧电极层优选通过含有碳纳米管的涂布液的涂布形成。所述碳纳米管的平均长度优选为100μm以上。所述表面侧电极层及所述背面侧电极层分别由多个带状体构成,从表里方向观察,所述表面侧电极层和所述背面侧电极层优选呈大致直角状交叉配置。 | ||
搜索关键词: | 容量 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种电容量型传感器片,用于测量伸缩变形形变量和/或伸缩变形形变分布,其特征在于,包括:弹性体制的电介质层;层叠于所述电介质层的表面的表面侧电极层;以及层叠于所述电介质层的背面的背面侧电极层,所述表面侧电极层及所述背面侧电极层包含碳纳米管,所述表面侧电极层及所述背面侧电极层的平均厚度分别为0.1μm以上10μm以下。
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