[发明专利]电容量型传感器片、电容量型传感器片的制造方法及传感器有效
申请号: | 201380050906.8 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104685316B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 大高秀夫;加藤秀之;则定英树;永濑贵行 | 申请(专利权)人: | 阪东化学株式会社 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01L1/14;G01L5/00 |
代理公司: | 北京瑞盟知识产权代理有限公司11300 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 日本国兵库县神户*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 容量 传感器 制造 方法 | ||
1.一种电容量型传感器片,用于测量伸缩变形形变量和/或伸缩变形形变分布,其特征在于,包括:
弹性体制的电介质层;
层叠于所述电介质层的表面的表面侧电极层;以及
层叠于所述电介质层的背面的背面侧电极层,
所述表面侧电极层及所述背面侧电极层包含碳纳米管,
所述表面侧电极层及所述背面侧电极层的平均厚度分别为0.1μm以上10μm以下。
2.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
通过涂布含有碳纳米管的涂布液形成所述表面侧电极层及所述背面侧电极层。
3.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
所述碳纳米管的平均长度为100μm以上。
4.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
所述表面侧电极层及所述背面侧电极层分别包括多个带状体,从表里方向观察,所述表面侧电极层和所述背面侧电极层呈大致直角交叉配置。
5.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
在1轴方向的伸长率为30%以上。
6.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
在所述表面侧电极层及所述背面侧电极层中,所述碳纳米管的含有量相对于总固体成分为50质量%以上。
7.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
所述表面侧电极层及背面侧电极层实质上仅由碳纳米管形成。
8.根据权利要求1所述的电容量型传感器片,其特征在于,
所述碳纳米管为单层碳纳米管。
9.一种电容量型传感器片的制造方法,其特征在于,包括:
由弹性体材料形成的电介质层的工序;以及
通过涂布含有碳纳米管的涂布液,分别在所述电介质层的表面及背面层叠平均厚度为0.1μm以上10μm以下的电极层的工序。
10.一种传感器,其用于测量伸缩变形形变量和/或伸缩变形形变分布,其特征在于,包括:
如权利要求1所述的电容量型传感器片;和
与所述电容量型传感器片的表面侧电极层及背面侧电极层连接的检测电路。
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