[发明专利]自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物有效
| 申请号： | 201380039314.6 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104487412A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;鹿毛孝和;申东美 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/54 | 分类号： | C07C69/54;C07C67/14;C08F20/30;C08G8/30 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物。一种自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示。式(1)中，R1、R2以及R3各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t为1或者2。 |
||
| 搜索关键词： | 自由基 固化 化合物 制造 方法 组合 以及 材料 | ||
【主权项】：
一种自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示，![]()
式(1)中，R1、R2以及R3各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立为1～4的整数，p为0～4的整数，此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t为1或者2。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于DIC株式会社，未经DIC株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380039314.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
