[发明专利]自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物

权利要求书

1.一种自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示，

式(1)中，R¹、R²以及R³各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立为1～4的整数，p为0～4的整数，此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t为1或者2。

2.根据权利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述通式(1)所示的自由基固化性化合物为下述通式(2)所示的化合物，

式(2)中，R¹、R²以及R³各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立为1～4的整数，p为0～4的整数，此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰基。

3.根据权利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述R¹、R²以及R³均为甲基。

4.根据权利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述m、n以及p各自独立地为1～3的整数。

5.一种自由基固化性化合物的制造方法，其特征在于，通过将烷基取代苯酚(a1)与在苯环上具有羟基的芳香族醛(a2)缩聚，从而得到下述通式(3)所示的缩聚物(A)，然后使该缩聚物与(甲基)丙烯酰卤(B)反应，

式(3)中，R¹、R²以及R³各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立地为1～4的整数，p为0～4的整数，s为1或者2。

6.根据权利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其中，所述烷基取代苯酚(a1)为2,5-二甲苯酚或者2,6-二甲苯酚。

7.根据权利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其中，所述在苯环上具有羟基的芳香族醛(a2)为4-羟基苯甲醛。

8.根据权利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其包括以下的工序：工序1，通过在酸催化剂存在下将烷基取代苯酚(a1)与在苯环上具有羟基的芳香族醛(a2)缩聚，从而得到在反应溶液中包含缩聚物(A)的粗产物；工序2，自反应溶液中回收由工序1得到的缩聚物(A)；以及，工序3，在碱存在下使工序2中分离出的缩聚物(A)与(甲基)丙烯酰卤(B)反应。

9.一种自由基固化性化合物，其利用权利要求5～8中任一项所述的制造方法而得到。

10.一种自由基固化性组合物，其含有权利要求1～4或权利要求9中任一项所述的自由基固化性化合物。

11.一种固化物，其是利用活性能量射线或者热使权利要求10所述的自由基固化性组合物固化而得到的。

12.一种抗蚀材料用组合物，其包含权利要求10所述的自由基固化性组合物。