[发明专利]探针设备有效
| 申请号： | 201380033269.3 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN104620121B | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 奥斯卡·贝耶尔特 | 申请（专利权）人： | 斯蒂汀康提纽提特贝耶尔特工程公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,吴启超 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明大体上涉及用于确保探针卡组件的完整性、验证探针卡是准备测试并且允许对探针卡性能特征进行分析的方法和设备。在一个实施方案中，一种设备允许在所述设备正面位置的相应角度上，对探针卡进行返工。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 设备 | ||
【主权项】：
一种探针卡分析仪设备，所述设备包括：桌台主体；从所述桌台主体的第一转角向外延伸的第一支撑臂；从所述桌台主体的第二转角向外延伸的第二支撑臂，所述第二支撑臂实质上平行于所述第一支撑臂而延伸；耦接到所述第一支撑臂的第一轨道；耦接到所述第二支撑臂的第二轨道；耦接到所述第一轨道且可沿着所述第一轨道移动的第一样品台臂；耦接到所述第二轨道且可沿着所述第二轨道移动的第二样品台臂，所述第二样品台臂实质上平行于所述第一样品台臂；样品台，所述样品台可旋转耦接到所述第一样品台臂和所述第二样品台臂，从而使得所述样品台可围绕轴线旋转。
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