[发明专利]探针设备

说明书

技术领域

本发明的实施方案大体上涉及集成电路测试，并且更具体而言，本发明的实施方案涉及用来测试晶圆上的集成电路的探针卡的测试设备和方法。

背景技术

探针卡测试和验证系统普遍在使用之前和之后用作探针卡特征化的生产工具(用于测试集成电路装置/基底)，并且用来促进不符合预定标准的探针卡的返工。此类系统通常由计算机、精密测量系统、基于软件的视觉系统以及精密动作控制和测量系统组成。此类装配系统允许进行探针卡平坦化的测量和调整，视觉X/Y就位和调整，探针接触电阻、泄漏和部件测量。

包括接触电阻和泄漏的电气参数也可以相对于参考值进行测量，并且可以提供测试下的探针卡组件是通过还是失败的指示。如果确定失败，可以打印完整报告来配合对卡进行返工。此类系统所提供的快速验证可以确认探针卡组件是准备测试还是需要返工。

因此，不断需要改进此类系统，从而确保探针卡组件完整性、验证探针卡是准备测试并且允许对探针卡性能特征进行分析。

发明内容

本发明一般涉及用于确保探针卡组件完整性、验证探针卡是准备测试并且允许对探针卡性能特征进行分析的方法和设备。在一个实施方案中，一种设备允许在所述设备正面位置的相应角度上，对探针卡进行返工。

在一个实施方案中，公开一种探针卡分析仪设备。所述设备包括：桌台主体；从所述桌台主体的第一转角向外延伸的第一支撑臂；从所述桌台主体的第二转角向外延伸的第二支撑臂，所述第二支撑臂实质上平行于所述第一支撑臂而延伸；耦接到所述第一支撑臂的第一轨道；耦接到所述第二支撑臂的第二轨道；耦接到所述第一轨道且可沿着所述第一轨道移动的第一样品台臂；耦接到所述第二轨道且可沿着所述第二轨道移动的第二样品台臂，所述第二样品台臂实质上平行于所述第一样品台臂；样品台，所述样品台可旋转耦接到所述第一样品台臂和所述第二样品台臂，从而使得所述样品台可围绕轴线旋转。

在另一实施方案中，公开一种平台移动方法。所述方法包括：沿着第一轨道移动第一样品台臂，所述第一轨道耦接到第一支撑臂，所述第一支撑臂耦接到桌台主体的第一转角；沿着第二轨道移动第二样品台臂，所述第二轨道耦接到第二支撑臂，所述第二支撑臂耦接到所述桌台主体的第二转角，其中所述第二支撑臂处于平面中，所述平面实质上与安置所述第一支撑臂的平面相平行；以及，围绕轴线旋转样品台，其中所述样品台可旋转耦接到所述第一样品臂和所述第二样品臂。

在另一实施方案中，一种探针卡分析仪设备包括：桌台主体；从所述桌台主体的第一转角向外延伸的第一支撑臂；从所述桌台主体的第二转角向外延伸的第二支撑臂，所述第二支撑臂实质上平行于所述第一支撑臂而延伸；耦接到所述第一支撑臂的第一轨道；耦接到所述第二支撑臂的第二轨道；可枢转耦接到所述第一轨道且可沿着所述第一轨道移动的第一样品台臂；可枢转耦接到所述第二轨道且可沿着所述第二轨道移动的第二样品台臂，所述第二样品台臂实质上平行于所述第一样品台臂；可枢转耦接到所述桌台主体的第三样品台臂；可枢转耦接到所述桌台主体的第四样品台臂；以及，样品台，所述样品台可旋转耦接到所述第一样品台臂、所述第二样品台臂、所述第三样品台臂和所述第四样品台臂，从而使得所述样品台可围绕一个或多个轴线旋转。

附图说明

为了可以详细了解本发明上述特征所采用的方式，本发明更为具体的描述(上文简要概述)可以参考实施方案加以获得，所述实施方案中的某些实施方案在附图中示出。然而，应注意，附图仅示出本发明的典型实施方案，并且因此附图不应被视为对本发明范围的限制，因为本发明可以允许其他同等有效的实施方案。

图1为根据一个实施方案的探针卡分析仪设备的示意性等距图解。

图2为图1的探针卡分析仪设备在分析台和样品台处于第二位置情况下的示意性等距图解。

图3为图1的探针卡分析仪设备在分析台和样品台处于第三位置情况下的示意性等距图解。

图4A至图4T为图1的探针卡分析仪设备在各个移动阶段上的示意性侧视图。

图5为图1的探针卡分析仪设备在移除样品台情况下的示意性等距图解。

图6为根据一个实施方案的圆柱体和对准机构的示意性等距图解。

图7为根据一个实施方案的对准板的示意性图解。

图8为根据另一实施方案的探针卡分析仪的示意性等距图解。

为了便于理解，在可能的情况下都使用相同的参考符号来标示附图中共用的相同元件。可以预见的是，在一个实施方案中所公开的元件可以在没有特定评述的情况下，有利地用于其他实施方案。