[发明专利]探针设备

权利要求书

1.一种探针卡分析仪设备，所述设备包括：

桌台主体；

从所述桌台主体的第一转角向外延伸的第一支撑臂；

从所述桌台主体的第二转角向外延伸的第二支撑臂，所述第二支撑臂实质上平行于所述第一支撑臂而延伸；

耦接到所述第一支撑臂的第一轨道；

耦接到所述第二支撑臂的第二轨道；

耦接到所述第一轨道且可沿着所述第一轨道移动的第一样品台臂；

耦接到所述第二轨道且可沿着所述第二轨道移动的第二样品台臂，所述第二样品台臂实质上平行于所述第一样品台臂；

样品台，所述样品台可旋转耦接到所述第一样品台臂和所述第二样品台臂，从而使得所述样品台可围绕轴线旋转。

2.如权利要求1所述的设备，进一步包括耦接到所述桌台主体的第三转角的第一分析臂，所述第一分析臂可在所述第三转角上围绕轴线枢转，并且所述第一分析臂可沿着所述第一支撑臂移动。

3.如权利要求2所述的设备，进一步包括：

第二分析臂，所述第二分析臂耦接到所述第一分析臂且所述第二分析臂实质上垂直于所述第一分析臂而延伸；

分析台，所述分析台耦接到所述第二分析臂且所述分析台可沿着所述第二分析臂移动；以及

耦接到所述分析台的显微镜。

4.如权利要求3所述的设备，其中所述显微镜进一步包括维修机器人，所述维修机器人包括激光器，所述激光器安装在所述显微镜上，用于切除有缺陷的探针针头并焊上新的探针针头。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述样品台被设定大小来处理具有约450mm直径的探针卡。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述样品台具有穿过所述样品台中的开口。

7.如权利要求6所述的设备，进一步包括安置在所述开口上方的对准板，其中所述对准板包括至少一个光学对准点。

8.如权利要求7所述的设备，进一步包括相机，其中所述相机为快速扫描相机，其中所述相机持续移动，从而允许迅速识别所述至少一个光学点。

9.如权利要求7所述的设备，其中所述至少一个光学点相对于所述板的中心而言，与第二光学点成约120°角。

10.如权利要求7所述的设备，其中所述至少一个光学点包含铜或玻璃。

11.如权利要求7所述的设备，进一步包括至少一个Z轴向载物台，用于将探针卡调平到与所述样品台平行的位置上。

12.如权利要求1所述的设备，其中所述样品台具有穿过所述样品台中的开口。

13.如权利要求12所述的设备，进一步包括安置在所述开口上方的对准板，其中所述对准板包括至少一个光学对准点。

14.如权利要求13所述的设备，进一步包括相机，其中所述相机为快速扫描相机，其中所述相机持续移动，从而允许迅速识别所述至少一个光学点。

15.如权利要求13所述的设备，其中所述至少一个光学点相对于所述板的中心而言，与第二光学点成约120°角。

16.如权利要求13所述的设备，其中所述至少一个光学点包含铜。

17.如权利要求13所述的设备，进一步包括至少一个Z轴向载物台，用于将探针卡调平到与所述样品台平行的位置上。

18.如权利要求1所述的设备，进一步包括至少一个Z轴向载物台，用于将探针卡调平到与所述样品台平行的位置上。

19.一种方法，用于移动探针测试仪设备中的样品台，所述方法包括：沿着第一轨道移动第一样品台臂，所述第一轨道耦接到第一支撑臂，所述第一支撑臂耦接到桌台主体的第一转角；

沿着第二轨道移动第二样品台臂，所述第二轨道耦接到第二支撑臂，所述第二支撑臂耦接到所述桌台主体的第二转角，其中所述第二支撑臂处于平面中，所述平面实质上与安置所述第一支撑臂的平面相平行；以及

围绕轴线旋转样品台，其中所述样品台可旋转耦接到所述第一样品臂和所述第二样品臂。

20.如权利要求19所述的方法，进一步包括使第一分析臂围绕轴线枢转，并且使所述第一分析臂沿着所述第一支撑臂移动，其中所述第一分析臂耦接到所述桌台主体的第三转角。

21.一种探针卡分析仪设备，所述设备包括：

桌台主体；

从所述桌台主体的第一转角向外延伸的第一支撑臂；

从所述桌台主体的第二转角向外延伸的第二支撑臂，所述第二支撑臂实质上平行于所述第一支撑臂而延伸；

耦接到所述第一支撑臂的第一轨道；

耦接到所述第二支撑臂的第二轨道；

耦接到所述第一轨道且可沿着所述第一轨道移动的第一样品台臂；

耦接到所述第二轨道且可沿着所述第二轨道移动的第二样品台臂，所述第二样品台臂实质上平行于所述第一样品台臂；

可枢转耦接到所述桌台主体的第三样品台臂；

可枢转耦接到所述桌台主体的第四样品台臂；以及

样品台，所述样品台可旋转耦接到所述第一样品台臂、所述第二样品台臂、所述第三样品台臂和所述第四样品台臂，从而使得所述样品台可围绕一个或多个轴线旋转。