[发明专利]化学研磨装置有效
| 申请号： | 201380007542.5 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN104114509A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 西山荣 | 申请（专利权）人： | 株式会社NSC |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不使用夹具也能够对玻璃基板实施化学研磨处理的单片式化学研磨装置。化学研磨装置(10)具备有多个搬送辊(50)以及多个喷射管(322)。多个搬送辊(50)构成为分别从下面支承玻璃基板(100)的同时向水平方向搬送玻璃基板(100)。喷射管(322)构成为对由多个搬送辊(50)搬送的玻璃基板(100)至少从下侧喷射研磨液。此外，喷射管(322)以利用研磨液至少使化学研磨处理空间内的全部的搬送辊的周面形成湿润状态的方式喷射研磨液。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种化学研磨装置，其构成为对被连续搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理，其特征在于，具备：多个搬送辊，所述多个搬送辊构成为从下方支承玻璃基板且同时向水平方向搬送玻璃基板，研磨液喷射单元，所述研磨液喷射单元构成为对由所述多个搬送辊搬送的玻璃基板至少从下侧喷射研磨液，所述研磨液喷射单元以利用研磨液使至少化学研磨处理空间内的全部的搬送辊的周面形成湿润状态的方式喷射研磨液。
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