[发明专利]感光性负型树脂组合物、微细结构体、微细结构体的制造方法和液体排出头

摘要

一种感光性负型树脂组合物，其含有在分子中具有至少三个氧化环己烯骨架的树脂(a)、由说明书中定义的式b1表示的阳离子部分结构和由说明书中定义的式b2表示的阴离子部分结构组成的鎓盐(b)、硅烷化合物(c)和有机溶剂(d)。使用所述树脂组合物的微细结构体，所述微细结构体的制造方法和液体排出头。

主权项

一种感光性负型树脂组合物，其特征在于，其包含在分子中具有至少三个氧化环己烯骨架的树脂a、由下式b1所示的阳离子部分结构和下式b2所示的阴离子部分结构组成的第一鎓盐b、硅烷化合物c和有机溶剂d：其中R1至R3彼此独立地为可具有取代基且具有1至30个碳原子的有机基团，条件是在构成R1至R3的所有原子中包括两个以上的氧原子，R1和R2、R2和R3以及R1和R3可彼此直接键合或介由连接基团键合以形成环状结构，R1至R3的至少一个含有环状羰基结构，R4为可被氟原子取代且具有1至30个碳原子的烃基，X为碳原子、氮原子、磷原子或硼原子，Y1为‑S(＝O)2‑、氟化亚烷基、*1‑O‑CF2‑、*1‑C(＝O)‑CF2‑、*1‑O‑C(＝O)‑CF2‑、*1‑C(＝O)‑O‑CF2‑或单键，其中*1表示键合至R4的末端，当X为碳原子时，n为0、1或2，条件是m和n之和为3，当X为氮原子时，n为0或1，条件是m和n之和为2，当X为磷原子时，n为0以上且6以下的整数，条件是m和n之和为6，当X为硼原子时，n为0以上且3以下的整数，条件是m和n之和为4，和当m为2以上的整数时，键合至X的两个以上的R4‑Y1‑基团中的一个R4‑Y1‑基团中的任何碳原子可介由单键键合至其它R4‑Y1‑基团中的任何碳原子，从而形成环状结构。