[发明专利]感光性负型树脂组合物、微细结构体、微细结构体的制造方法和液体排出头

权利要求书

1.一种感光性负型树脂组合物，其特征在于，其包含在分子中具有至少三个氧化环己烯骨架的树脂a、由下式b1所示的阳离子部分结构和下式b2所示的阴离子部分结构组成的第一鎓盐b、硅烷化合物c和有机溶剂d：

其中R₁至R₃彼此独立地为可具有取代基且具有1至30个碳原子的有机基团，条件是在构成R₁至R₃的所有原子中包括两个以上的氧原子，R₁和R₂、R₂和R₃以及R₁和R₃可彼此直接键合或介由连接基团键合以形成环状结构，R₁至R₃的至少一个含有环状羰基结构，

R₄为可被氟原子取代且具有1至30个碳原子的烃基，X为碳原子、氮原子、磷原子或硼原子，

Y₁为-S(＝O)₂-、氟化亚烷基、*₁-O-CF₂-、*₁-C(＝O)-CF₂-、*₁-O-C(＝O)-CF₂-、*₁-C(＝O)-O-CF₂-或单键，

其中*₁表示键合至R₄的末端，

当X为碳原子时，n为0、1或2，条件是m和n之和为3，

当X为氮原子时，n为0或1，条件是m和n之和为2，

当X为磷原子时，n为0以上且6以下的整数，条件是m和n之和为6，

当X为硼原子时，n为0以上且3以下的整数，条件是m和n之和为4，和

当m为2以上的整数时，键合至X的两个以上的R₄-Y₁-基团中的一个R₄-Y₁-基团中的任何碳原子可介由单键键合至其它R₄-Y₁-基团中的任何碳原子，从而形成环状结构。

2.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中所述树脂a由下式a1表示：

其中，R为可含有脂环式环氧基和酯基即-C(＝O)-O-之一或二者且具有1至30碳原子的烃基，

A¹至A^h彼此独立地为由具有1至9个碳原子的直链或支链烷基和选自由-O-和-C(＝O)-组成的组的基团组成的基团，

V¹至V^h彼此独立地为由下式a2表示的基团，L₁至L_h彼此独立地为0以上的数，和

A^h、L_h和V^h中的h为2以上的整数，条件是当h为2时，R含有至少一个氧化环己烯骨架，

其中，R₂₁至R₂₉彼此独立地为氢原子或具有1至9个碳原子的烷基。

3.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其进一步包含含有不同于所述氧化环己烯骨架的脂环式基团且软化点为70℃以上的环氧树脂e。