[发明专利]用于提高SI太阳能电池的表面钝化的性能和稳定性的缓冲层无效
| 申请号: | 201380004728.5 | 申请日: | 2013-01-03 |
| 公开(公告)号: | CN104025304A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
| 发明(设计)人: | S·盛;L·张 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
| 主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677;C23C16/54 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐伟 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 本发明的实施方式一般涉及太阳能电池的制造且更具体地涉及用于提高Si太阳能电池的表面钝化的性能和稳定性的缓冲层。一般来说,包含缓冲层(中间层)的钝化层堆叠形成在基于硅的基板的表面上。在一个实施方式中,钝化层堆叠可形成在基板的背表面上。在另一实施方式中,钝化层堆叠形成在基板的背表面和基板的前发射区(光接收表面)上。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 提高 si 太阳能电池 表面 钝化 性能 稳定性 缓冲 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池装置,所述太阳能电池装置包含:形成在基板的第一表面上的发射区,所述发射区具有与所述基板的导电类型相对的导电类型;和一或更多个钝化层堆叠,所述一或更多个钝化层堆叠包含:形成在所述基板的第二表面或所述发射区上的第一介电层;形成在所述第一介电层上方的第二介电层;和安置在所述第一介电层和所述第二介电层之间的中间层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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