[实用新型]测试结构有效
| 申请号： | 201320878928.0 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203644759U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 杨梅;李日鑫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种用于检测通孔连线和栅极之间的重叠偏差的测试结构，包括栅极、有源区和多个通孔连线，通孔连线包括至少一个形成在栅极上的栅极通孔连线和多个形成在有源区上的有源区通孔连线，有源区通孔连线位于栅极的两侧与栅极保持预定距离S。在使用0.5KV～2KV电压的SEM对测试结构进行观察，正常情况下有源区通孔连线和栅极通孔连线均是暗的，若通孔连线发生了偏移并且与所述栅极以及有源区紧贴时便会变亮，通过检测测试结构中是否存在一个或者多个发亮的通孔连线，便能够检测出通孔连线与栅极之间是否存在重叠偏差，在较小的尺寸下具有很高的灵敏性，能够缩短检测时间，提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种测试结构，用于检测通孔连线和栅极之间的重叠偏差，其特征在于，所述结构包括：栅极、有源区和多个通孔连线，所述通孔连线包括至少一个栅极通孔连线和多个有源区通孔连线，其中，所述栅极通孔连线形成在所述栅极上，所述有源区通孔连线形成在所述有源区上，并位于所述栅极的两侧与所述栅极保持预定距离S。
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