[实用新型]一种高速平面度检测仪

摘要

本实用新型公开了一种高速平面度检测仪，所述底座1上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述Z向工作台主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器；所述底座工作台上设有定位板。本实用新型结构稳定，自动化程度高，操作简单，功能强大，精度高，性价比优，适用范围广泛。

主权项

一种高速平面度检测仪，包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位移传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、下光学影像集成装置、定位板；其特征在于：所述底座(1)上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座采用优质天然大理石制作；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向，通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动；所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器；所述底座工作台上设有定位板。