[实用新型]一种高速平面度检测仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种全自动，高精度测量工件平面度，粗糙度及平行度的设备，具体地说是一种高速平面度检测仪。

背景技术

随着科学技术的不断进步，人们对检测自动化的程度不断提高。一种高效，全自动检测玻璃工件平面度的设备是通过CCD激光位移传感器采集放置于工作台上的工件的高度数据，通过计算机运算处理，配合科学的软件算法得到工件的平面度，平行度数据。它由大理石底座，Y向工作台，X向工作台以及Z向工作台组成，机台采用龙门结构，右端单边驱动横梁移动。Z向工作台上装有CCD激光位移传感器和光学影像集成装置，可以通过视觉系统快速观察被测目标并精确定位。工作时Z轴固定不动，Y,Z向工作台把测量点移到工件的不同点，CCD激光位移传感器测量工件表面高度数据，可得到工件的平面度，粗糙度等数据。同时旁边的光学影像集成装置可以同时进行产品的几何尺寸测量，两种测量模式可以同时进行，节约时间，提高工作效率，还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。但是现有的检测仪结构不够稳定，自动化程度不高，功能很少，精度不高，性价比低，适用范围不狭窄。为了解决现有技术的不足，本实用新型提出一种高速平面度检测仪。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种高速平面度检测仪。

为实现该技术目的，本实用新型的方案是：一种高度平面度检测仪，包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位置传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、定位板；所述底座1上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座采用优质天然大理石制作，它具有高精度，高稳定性；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上，左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度，右滑轨滑块组起辅助作用，主要支撑中间横梁，保证横梁与底座平面的平行度，通过安装在底座上的第一轴马达，第一轴高精密丝杆驱动，安装在左立柱侧的光栅尺准确测量数据，安装在左立柱两端的位置传感器可防止工作台超出工作范围，两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作，材料特性稳定质量轻，使设备具有高精度，高稳定性和很低的运动惯性；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向，保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度，通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动；所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上，通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接，保证运动方向与Y、X工作台运动方向及底座平面垂直，通过梯形螺杆螺母调节高度；所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器，通过更换固定块可对不同的产品进行检测；所述主板上还装有光学影像集成装置，以同时进行产品的几何尺寸测量，两种测量模式可以同时进行，节约时间，提高工作效率，还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。所述底座工作台上设有定位板可使更换工件时快速定位夹具。

作为优选，所述Y向运动工作台采用龙门结构。

作为优选，所述安装在Z向上的CCD位移传感器偏移测量。

本实用新型可准确读出Y向位置并向电脑传递数据，滑块两端装有位置传感器以防工作台超出测量范围，底座工作台上装有测量定位板，以便更换工件时可以快速定位，不需要调整产品，且结构稳定，自动化程度高，操作简单，功能强大，精度高，性价比优，适用范围广泛。

附图说明

图1为本实用新型中高速平面度测量仪的立体示意图；

图2为本实用新型中CCD激光位移传感器工作的示意图；

图中：底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。