[实用新型]一种高速平面度检测仪有效
| 申请号： | 201320876074.2 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203785643U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄宏臻 | 申请（专利权）人： | 东莞市兆丰精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高速 平面 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种高速平面度检测仪，包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位移传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、下光学影像集成装置、定位板；其特征在于：所述底座(1)上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座采用优质天然大理石制作；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向，通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动；所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器；所述底座工作台上设有定位板。
2.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪，其特征在于：所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上，通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接。
3.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪，其特征在于：所述Y向运动工作台采用龙门结构。
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