[实用新型]一种提高硅烷气体充装效率的系统有效
| 申请号： | 201320835564.8 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN203628252U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈德伟;徐建胜;郑安雄 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C13/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种提高硅烷气体充装效率的系统。该工艺包括：硅烷充装入口缓冲罐，硅烷压缩机，粗过滤器，精过滤器，钢瓶，多接头充装面板，出口缓冲罐以及多接头分析面板。硅烷通过压缩机压缩，微量粉末通过粗、精过滤器进到充装面板，再分流至待充钢瓶中，利用自动控制系统和精确台秤来达到充装重量的精确控制，本实用新型可以提高硅烷气体的充装质量，提高充装安全性，降低充装成本。彻底解决原来充装时间过长，充装步奏复杂，充装成本高，充装危险性大以及硅粉污染环境等弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 硅烷 气体 效率 系统 | ||
【主权项】：
一种提高硅烷气体充装效率的系统，其特征在于包括硅烷充装入口缓冲罐（1）、硅烷压缩机（2）、粗过滤器（3）、精过滤器（4）、钢瓶（5）、多个多接头充装面板（6）、出口缓冲罐（7）、多接头分析面板（8）,硅烷充装入口缓冲罐（1）、硅烷压缩机（2）、粗过滤器（3）、精过滤器（4）、多接头充装面板（6）、出口缓冲罐（7）顺次相连，多接头充装面板（6）经阀门与钢瓶（5）相连，钢瓶（5）经阀门与多接头分析面板（8）相连。
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