[实用新型]一种硅片上下料装置有效
申请号: | 201320791119.6 | 申请日: | 2013-12-05 |
公开(公告)号: | CN203682602U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 袁卫华;胡凡;易文杰;钟新华 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | B65G49/07 | 分类号: | B65G49/07;B65G47/74 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片上下料装置,包括带有相对的A、B两端的底板和电机,所述底板A端上方设有由竖直板和置于竖直板顶端的水平板组成的L型支架,所述竖直板安装在靠近底板B端的水平板端面上;该上下料装置还设有可使L型支架在底板上滑动的滑动机构、用于水平传送L型支架水平板上硅片的硅片传送机构。由以上可知,本实用新型为一种硅片上下料装置,可平稳的在输送带与储片盒之间运送硅片,导向定位准确,有效防止硅片损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 上下 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片上下料装置,包括带有相对的A、B两端的底板(6)和电机(4),其特征是,所述底板(6)A端上方设有由竖直板(16)和置于竖直板(16)顶端的水平板(12)组成的L型支架,所述竖直板(16)安装在靠近底板(6)B端的水平板(12)端面上;该上下料装置还设有可使L型支架在底板(6)上滑动的滑动机构、用于水平传送L型支架水平板(12)上硅片的硅片传送机构。
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