[实用新型]一种硅片上下料装置

权利要求书

1. 一种硅片上下料装置，包括带有相对的A、B两端的底板（6）和电机（4），其特征是，所述底板（6）A端上方设有由竖直板（16）和置于竖直板（16）顶端的水平板（12）组成的L型支架，所述竖直板（16）安装在靠近底板（6）B端的水平板（12）端面上；该上下料装置还设有可使L型支架在底板（6）上滑动的滑动机构、用于水平传送L型支架水平板（12）上硅片的硅片传送机构。

2.根据权利要求1所述硅片上下料装置，其特征是，所述水平板（12）两侧分别设有导向条（10），且两根导向条（10）平行设置。

3.根据权利要求1或2所述硅片上下料装置，其特征是，所述滑动机构包括气缸（7）、设在底板（6）顶面的滑轨（5）、可在滑轨（5）上滑动的滑块、设在滑块顶部并与L型支架竖直板（16）连接的滑块安装板（9），气缸（7）的活塞杆与L型支架的竖直板（16）连接。

4.根据权利要求1或2所述硅片上下料装置，其特征是，所述硅片传送机构包括置于底板（6）上方的固定转轴（17）和两个传片轮带组，每个传片轮带组包括传送带（18）、安装在固定转轴（17）上的第一固定带轮（19）、设在第一固定带轮（19）下方的第二固定带轮（20）、设在L型支架水平板（12）下方并通过传动齿轮组与电机输出轴连接的第三固定带轮（21）、设在第三固定带轮（21）与L型支架水平板（12）之间的可随传送带（18）移动的第一活动带轮（22）、安装在远离底板（6）B端的L型支架端部的可随传送带移动的第二活动带轮（23），所述传送带（18）首尾相接，并顺次绕过第一固定带轮（19）、第二固定带轮（20）、第三固定带轮（21）、第一活动带轮（22）、第二活动带轮（23）及L型支架水平板（12）顶面而绕回至第一固定带轮（19）。

5.根据权利要求4所述硅片上下料装置，其特征是，所述底板（6）上安装转轴支撑座（8），所述固定转轴（17）安装在转轴支撑座（8）上。

6.根据权利要求4所述硅片上下料装置，其特征是，所述传动齿轮组包括与电机输出轴连接的主动同步带轮（3）、从动同步带轮（1）、连接主动同步带轮（3）与从动同步带轮（1）的同步齿形带（2），所述从动同步带轮（1）中心安装传动轴，所述第三固定带轮（21）安装在传动轴上。