[实用新型]化学液供给装置有效
| 申请号： | 201320717101.1 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203549395U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 佟金刚;李阳柏;张传民;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/08;F17D5/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学液供给装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路、连接管路、进气管路以及排风管路，所述出液管路与所述储液罐的底壁相连接，所述进液管路和连接管路伸入到储液罐中，所述进气管路、排风管路均与所述连接管路连通。本实用新型使出液管路从下方接入储液罐，如此可防止厂务端产生的气泡以及化学液本身产生的气泡进入出液管路，确保与之连接的机台工艺运行正常。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种化学液供给装置，其特征在于，包括：储液罐、进液管路、出液管路、连接管路、进气管路以及排风管路，所述出液管路与所述储液罐的底壁相连接，所述进液管路和连接管路伸入到所述储液罐中，所述进气管路、排风管路均与所述连接管路连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320717101.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：适用于气态二氧化碳/氮的调压装置
- 下一篇：免疫五项检测基础试剂
