[实用新型]化学液供给装置有效
| 申请号： | 201320717101.1 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203549395U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 佟金刚;李阳柏;张传民;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/08;F17D5/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 供给 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学液供给装置，其特征在于，包括：储液罐、进液管路、出液管路、连接管路、进气管路以及排风管路，所述出液管路与所述储液罐的底壁相连接，所述进液管路和连接管路伸入到所述储液罐中，所述进气管路、排风管路均与所述连接管路连通。
2.如权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于，所述化学液供给装置还包括设置于所述进气管路上第一阀，设置于所述连接管路上的第二阀，设置于所述排风管路上第三阀，设置于所述进液管路上第四阀，以及设置于所述出液管路上的第五阀。
3.如权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于，所述化学液供给装置还包括设置于所述储液罐上的液位传感器。
4.如权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于，所述化学液供给装置还包括设置于所述储液罐中的气体压力感应传感器。
5.如权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于，所述化学液供给装置还包括设置于所述出液管路上的流量计。
6.如权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于，所述出液管路与一湿法清洗机台连接。
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