[实用新型]蚀刻机喷液系统有效
| 申请号： | 201320708384.3 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN203513798U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 邵永明;童德明 | 申请（专利权）人： | 临安升达电子厂 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 王洪新 |
| 地址： | 311324 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及蚀刻机喷液系统。目的是提供的系统应能在保持蚀刻质量的同时，确保蚀刻进度一致，并且结构简单、制作便利。技术方案是：蚀刻机喷液系统，包括安装于机体内腔且悬垂在传送带上边的若干个相互平行的喷液管以及为前述喷液管提供酸性蚀刻液的供液组件，所述喷液管均水平布置且横向伸展在传送带的宽度方向，每个喷液管上均安装着若干个竖直朝下的喷嘴；其特征在于所述每个喷液管上的喷嘴排列成两端高中间低的形状，并且分别通过各自的过渡管连通所述的喷液管。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 机喷液 系统 | ||
【主权项】：
蚀刻机喷液系统，包括安装于机体（1）内腔且悬垂在传送带上边的若干个相互平行的喷液管（5）以及为前述喷液管提供酸性蚀刻液的供液组件，所述喷液管均水平布置且横向伸展在传送带（2）的宽度方向，每个喷液管上均安装着若干个竖直朝下的喷嘴；其特征在于所述每个喷液管上的喷嘴排列成两端高中间低的形状，并且分别通过各自的过渡管（3）连通所述的喷液管。
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