[实用新型]蚀刻机喷液系统有效
| 申请号： | 201320708384.3 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN203513798U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 邵永明;童德明 | 申请（专利权）人： | 临安升达电子厂 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 王洪新 |
| 地址： | 311324 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 机喷液 系统 | ||
【权利要求书】：
1.蚀刻机喷液系统，包括安装于机体（1）内腔且悬垂在传送带上边的若干个相互平行的喷液管（5）以及为前述喷液管提供酸性蚀刻液的供液组件，所述喷液管均水平布置且横向伸展在传送带（2）的宽度方向，每个喷液管上均安装着若干个竖直朝下的喷嘴；其特征在于所述每个喷液管上的喷嘴排列成两端高中间低的形状，并且分别通过各自的过渡管（3）连通所述的喷液管。
2.根据权利要求1所述的蚀刻机喷液系统，其特征在于：所述形状为圆弧形。
3.根据权利要求1所述的蚀刻机喷液系统，其特征在于：所述形状为三角形。
4.根据权利要求2或3所述的蚀刻机喷液系统，其特征在于：所述供液组件为通过管道将酸性蚀刻液输往喷液管的耐腐蚀液泵。
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