[实用新型]硅片扩散间的送风装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片扩散间的送风装置，包括中央空调和硅片扩散间，中央空调有第一、二进风口和出风口，硅片扩散间包括常温区和高温区，且常温区有进、出风口和排风口，高温区有高温排气口，中央空调的出风口与硅常温区的进风口相连通，常温区的出风口通过回风管与中央空调的第二进风口相连通，而其：还包括第一电磁阀K1、第二电磁阀K2、第一分管、第二分管和风机；第一分管的一端与高温区的高温排气口相连通，而第一分管的另一端与回风管相连通，第一电磁阀K1设在第一分管的管路上；第二分管的一端与第一分管相连通，且第二分管的另一端与风机的吸风口相连通，第二电磁阀K2设在第二分管的管路上。本实用新型具有节能、环保等优点。

主权项

一种硅片扩散间的送风装置，包括中央空调（1）和硅片扩散间（2），所述中央空调（1）有第一进风口（1‑1）、第二进风口（1‑2）和出风口（1‑3），硅片扩散间（2）包括常温区（2‑1）和高温区（2‑2），且常温区（2‑1）有进风口（2‑3）、出风口（2‑4）和排风口（2‑5），高温区（2‑2）有高温排气口（2‑6），中央空调（1）的出风口（1‑3）通过送风管（3）与硅片扩散间（2）的常温区（2‑1）的进风口（2‑3）相连通，常温区（2‑1）的出风口（2‑4）通过回风管（4）与中央空调（1）的第二进风口（1‑2）相连通，其特征在于：还包括第一电磁阀K1、第二电磁阀K2、第一分管（5）、第二分管（6）和风机（7）；所述第一分管（5）的一端与高温区（2‑2）的高温排气口（2‑6）相连通，而第一分管（5）的另一端与回风管（4）相连通，第一电磁阀K1设在第一分管（5）的管路上；所述第二分管（6）的一端与第一分管（5）相连通，且第二分管（6）的另一端与风机（7）的吸风口相连通，第二电磁阀K2设在第二分管（6）的管路上。