[实用新型]硅片扩散间的送风装置

说明书

技术领域

本实用新型具体涉及一种硅片扩散间的送风装置。

背景技术

目前，硅片扩散间是采用中央空调进行送风。在夏天温度较高时，由中央空调制冷并将冷风送入扩散间的常温区，在冬天温度较低时，外面冷风进入中央空调制热并将热风送入扩散间的常温区，从而达到常温区恒温要求；而扩散间的高温区有扩散炉，在高温天气时，通过空调调节温度，以保持扩散炉的温度精准，而在低温天气时，直接将高温区的热风排掉，使其自然散热。由于常温区有排风口，会排掉中央空调一部分的送风量，在温度较低时，常温区的热风被排掉后，就会导致中央空调加大送风量，使得热能消耗高，而高温区的热风又白白排掉，造成能源的浪费，不节能也不环保。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种节能，且环保的硅片扩散间的送风装置，以克服现有技术的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案：一种硅片扩散间的送风装置，包括中央空调和硅片扩散间，所述中央空调有第一进风口、第二进风口和出风口，硅片扩散间包括常温区和高温区，且常温区有进风口、出风口和排风口，高温区有高温排气口，中央空调的出风口通过送风管与硅片扩散间的常温区的进风口相连通，常温区的出风口通过回风管与中央空调的第二进风口相连通，

而其：还包括第一电磁阀K1、第二电磁阀K2、第一分管、第二分管和风机；所述第一分管的一端与高温区的高温排气口相连通，而第一分管的另一端与回风管相连通，第一电磁阀K1设在第一分管的管路上；所述第二分管的一端与第一分管相连通，且第二分管的另一端与风机的吸风口相连通，第二电磁阀K2设在第二分管的管路上。

在上述技术方案中，所述硅片扩散间的常温区及其高温区，均分别设有温度监控器。

本实用新型所具有的积极效果是：由于采用上述送风装置后，将高温区的出风口通过第一分管与回风管相连通，且第一分管连通有第二分管，第一分管的管路上有第一电磁阀K1，第二分管的管路上有第二电磁阀K2，在夏季温度较高时，第一电磁阀K1关闭，第二电磁阀K2打开，直接将高温区的热风排掉，在冬季温度较低时，第一电磁阀K1打开，第二电磁阀K2关闭，直接将高温区的热风送至中央空调的第二进风口内，通过已有资源增加中央空调的送风量，降低中央空调的用电功率，这样高温区的热风就不会造成能源的浪费，既节能也环保。实现了本实用新型的目的。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。

如图1所示，一种硅片扩散间的送风装置，包括中央空调1和硅片扩散间2，所述中央空调1有第一进风口1-1、第二进风口1-2和出风口1-3，硅片扩散间2包括常温区2-1和高温区2-2，且常温区2-1有进风口2-3、出风口2-4和排风口2-5，高温区2-2有高温排气口2-6，中央空调1的出风口1-3通过送风管3与硅片扩散间2的常温区2-1的进风口2-3相连通，常温区2-1的出风口2-4通过回风管4与中央空调1的第二进风口1-2相连通，

而其：还包括第一电磁阀K1、第二电磁阀K2、第一分管5、第二分管6和风机7；所述第一分管5的一端与高温区2-2的高温排气口2-6相连通，而第一分管5的另一端与回风管4相连通，第一电磁阀K1设在第一分管5的管路上；所述第二分管6的一端与第一分管5相连通，且第二分管6的另一端与风机7的吸风口相连通，第二电磁阀K2设在第二分管6的管路上。

如图1所示，为了实时监控常温区2-1和高温区2-2的温度，所述硅片扩散间2的常温区2-1及其高温区2-2，均分别设有温度监控器8、9。

本实用新型所述硅片扩散间2的常温区2-1的温度控制在21～23℃，而高温区2-2的温度控制在48～51℃。

本实用新型小试效果显示，在夏季温度较高时，第一电磁阀K1关闭，第二电磁阀K2打开，直接将高温区2-2的热风通过风机7排掉，在冬季温度较低时，第一电磁阀K1打开，第二电磁阀K2关闭，直接将高温区2-2的热风送至中央空调1的第二进风口1-2内，通过已有资源增加中央空调1的送风量，降低中央空调1的用电功率，这样高温区2-2的热风就不会造成能源的浪费，既节能也环保。