[实用新型]PECVD载板转换装置

摘要

本实用新型涉及一种转换装置，具体的说是一种PECVD载板转换装置，属于太阳能镀膜技术领域。其包括两个互相平行的上导轨，两个上导轨上端通过螺钉共同连接上连接板，两个上导轨下端通过螺钉共同连接下连接板。上导轨上表面两端通过螺钉分别连接上限位导轨和下限位导轨，上导轨下表面通过螺钉连接下导轨。本实用新型采用钛合金导轨，提高了强度，提高了使用寿命；减少了载板的总配备量，降低了生产成本；使用方便，维护简单。

主权项

一种PECVD载板转换装置，包括两个互相平行的上导轨（3），其特征是：两个上导轨（3）上端通过螺钉共同连接上连接板（1），两个上导轨（3）下端通过螺钉共同连接下连接板（2）；上导轨（3）上表面两端通过螺钉分别连接上限位导轨（5）和下限位导轨（6），上导轨（3）下表面通过螺钉连接下导轨（4）。